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用于半導體熱處理工藝的ppm級微氧測量系統

簡要描述:深圳倍拓代理德國mesa微氧測量系統,用于半導體生產環節的熱處理工藝。

  • 產品型號:mesa
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2025-11-06
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詳情介紹

德國MESA微氧測量系統,專用于半導體生產環節的熱處理工藝。

德國MESA微氧測量系統是通過抽取氣體到特制測量室,然后通過Lambda探頭在穩定受控的溫度下進行微氧測量的精密系統,可以輸出模擬信號對應ppm氧含量。

量程:   0…5 / 10 / 100 / 10000 ppm

精度:   ± 1 % FS

優勢:   四點校正

輸出:   0 (4)…20mA 或 0…10V

產地:   德國 (ISO 9001 : 2015認證)

適用行業: 半導體

主要客戶: Mattson



德國MESA微氧測量系統采用氧化鋯探頭(Lambda探頭)設計,可以保持在恒定600℃測量,不受爐內溫度影響,Lambda探頭工作狀態穩定,使用壽命比其它同類產品更長,實際使用壽命可到10年之久;

德國MESA微氧測量系統,每一個Lambda探頭均有其獨特的零點漂移系數K1和溫度補償系數K2,從而使智能電源輸出的測量信號更為精準。量程和輸出類型可選。亦可將測量結果通過RS232/RS485等接口連接至上位機,實現集中控制功能。










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